所屬分類：等離子去膠機(jī)
微波等離子去膠機(jī)反應(yīng)速度快，反應(yīng)時(shí)間短，處理過程溫度低
ICP干法等離子去膠機(jī)適用于DESCUM（預(yù)前處理，去膠渣）、聚合物去除（PI、BCB、PBO）、離子注入后光阻去除等，腔體適用范圍8寸樣品（4-6寸兼容）。
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